水中含有大量雜質(zhì)，只有去除水中的雜質(zhì)，才能用于對(duì)水純度要求高的行業(yè)。
EDI超純水設(shè)備可以去除水中的各種雜質(zhì)，超純水系統(tǒng)處理后的水可以滿(mǎn)足電子行業(yè)的需求，實(shí)驗(yàn)室等高標(biāo)準(zhǔn)用水，因此可以通過(guò)超純水設(shè)備去除其中的雜質(zhì)。
超純水設(shè)備去除雜質(zhì)
1.溶解無(wú)機(jī)鹽
EDI超純水設(shè)備有鈉、鈣、鎂等鹽類(lèi)，溶于水形成正離子。當(dāng)含有這些離子的水沖洗半導(dǎo)體器件時(shí)，這些雜質(zhì)會(huì)擴(kuò)散到集成電路表面，造成短路。過(guò)去是用蒸餾水去除水中的無(wú)機(jī)鹽，現(xiàn)在是三重蒸餾水。水的電阻率只有3兆歐-厘米，而且水中仍然含有大于01ppm的NaCl。最近，反滲透去離子很有用，所以使用離子交換樹(shù)脂，陽(yáng)離子交換脂和陰離子交換樹(shù)脂分開(kāi)使用，易于再生，混床離子交換樹(shù)脂用于離子交換的最后階段，起到看門(mén)人的作用。這種水可以達(dá)到18兆歐厘米（25攝氏度）。
2.溶解有機(jī)物
有工業(yè)廢物、洗滌劑、可生物降解產(chǎn)品和微生物代謝物，這些可以通過(guò)活性炭吸附法去除，炭床要放在離子交換樹(shù)脂之前，因?yàn)榛钚蕴勘旧頃?huì)帶雜質(zhì)。必須注意的是，進(jìn)入樹(shù)脂床的水首先要除去有機(jī)物，因?yàn)殡x子交換樹(shù)脂很容易被有機(jī)物（如腐殖酸）污染。反滲透可以去除分子量大于300的有機(jī)物，分子量小于300的有機(jī)物可以去除90%。
3.顆粒物
EDI超純水設(shè)備在很多地方容易生產(chǎn)，如碳床、樹(shù)脂床、深度過(guò)濾等設(shè)備。雖然使用了一些方法來(lái)實(shí)現(xiàn)高電阻率，但顆粒物并沒(méi)有被有效去除，這會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體器件中出現(xiàn)針孔、短路、開(kāi)路、內(nèi)部擊穿和光刻膠脫落等缺陷。為了去除顆粒物，僅使用膜過(guò)濾，一般采用孔徑為0.45微米的微孔濾膜作為標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)于特殊需要，采用孔徑為0.22微米的微孔濾膜去除膠體鐵、膠體硅和小細(xì)菌，反滲透還可以去除小顆粒。
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更新時(shí)間：2022-02-22 
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